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直角坐标机器人又被称为三轴直线模组或多轴模组机械手，是单轴直线模组在运动形态和用途上的进一步拓展，被广泛运用于自动化机械装置和生产流水线上。高精度定位是多轴模组机器人一大重要特征，在三维运动空间里，这种定位本质是若干线量和角量定位的组合，在通常情况下，单个量可能是定位精准度的影响因素。

1、定位方式：不同的定位方式影响因素不同。如机械挡块定位时，定位精度与挡块的刚度和碰接挡块时的速度等因素有关。

2、定位速度：定位速度对定位精度影响很大。这是因为定位速度不同时，必须耗散的运动部件的能量不同。通常，为减小定位误差应合理控制定位速度，如提高缓冲装置的缓冲性能和缓冲效率，控制驱动系统使运动部件适时减速。

3、精度：直角坐标机器人的制造精度和安装调速精度对定位精度有直接影响。

4、刚度：直角坐标机器人本身的结构刚度和接触刚度低时，因易产生振动，定位精度一般较低。

5、运动件的重量：运动件的重量包括机械手本身的重量和被抓物的重量。运动件重量的变化对定位精度影响较大。通常，运动件重量增加时，定位精度降低。因此，设计时不仅要减小运动部件本身的重量，而且要考虑工作时抓重变化的影响。

6、驱动源：液压、气压的压力波动及电压、油温、气温的波动都会影响机械手的重复定位精度。因此，采用必要的稳压及调节油温措施。如用蓄能器稳定油压，用加热器或冷却器控制油温，低速时，用温度、压力补偿流量控制阀控制。

7、控制系统：开关控制、电液比例控制和伺服控制的位置控制精度是个不相同的。这不仅是因为各种控制元件的精度和灵敏度不同，而且也与位置反馈装置的有无有关。