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高精密伺服电动缸在半导体装配产线的应用
发布时间:2022-07-12 14:18:40 点击次数:668

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高精密伺服电动缸采用伺服电机和丝杆总成实现精密运动控制,并配有高精度位移光栅尺,使位移更精确。设有压力传感器,实时监测和反馈压紧力,固定连接板可直接与设备机架连接,压板可直接压紧产品或直接与夹具连接,方便快捷。直线轴承可以提高整体强度和更好的导向性,平衡径向力,使压力机更稳定。

 

对于精密件加工装配行业来说,精度是最重要的。例如半导体行业,定位和可重复需要达到必要的高精度,以使装配系统具有高效率,能够长时间满足高质量要求。

 

通常来说,半导体行业的精度必须极高(小数点后两位的公差)。该解决方案的理想选择是配备滚珠丝杠驱动装置,伺服电动缸无疑是最佳选择。采用铝合金型材,铝型材全部安裝面和参照面都必须深度加工,

配置循环系统钢珠直线滑轨,选用带循环系统滚动轴承的滚珠丝杠驱动器的伺服电动缸,可完成 10 μ 精度等级和 ±5 μ 精确性精密度。

 

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